溶解法的溅镀靶材和真空蒸镀材料 | 田中贵金属

溶解法的溅镀靶材和真空蒸镀材料

靶材与蒸镀材料皆为高纯度产品。

活跃於半导体等各种产业领域的贵金属薄膜。
依用途提供可对应多种形状、尺寸的高纯度溅镀靶材、蒸镀材料。

平面靶材、蒸镀材

圆筒靶材

来自溶解法的靶材、蒸镀材料

特色

  • ・没有针孔、氧化物、气体等缺陷的靶材产品
  • ・借由超音波瑕疵侦测机检查背板之间接合加工的接合状态以确保品质
  • ・贵金属高纯度蒸镀材料可加工成颗粒状、块状、棒状、线状等形状
  • ・装置、治具中精密洗净及回收利用的贵金属可再加工并补充回靶材
  • ・从细微的结晶尺寸到粗大的结晶尺寸皆可因应需求调整
  • ・实现了高效率的Ag系圆筒靶材

种类

材质 标准品(wt%) 高纯度品(wt%) 合金
金类 99.99 99.999 AuSi、AuZn、AuSb、AuSn其他
K金Au(K9~K18)
白金类 99.99 99.999 PtRh、PtPd、PtIr、PtCo、PtNi、来自溶解法的各种磁性物体
铱(Ir)类※1 99.9 99.99
铑(Rh)类※1 99.9 各种
钯(Pd)类 99.9 99.99 各种
银类※2 99.99 各种

※1. 铱、铑的高熔点材料也是利用溶解法,由无氧化物、气体、空洞等缺陷的铸块来制造。
※2. 制造已改善纯银耐环境性(耐硫化、耐湿度)的银合金。

用途

  • ・固晶用薄膜
  • ・发光二极体(LED)用电极膜
  • ・晶体共振子用电极膜
  • ・薄膜太阳能板用反射膜
  • ・建材用高效能玻璃(Low-e玻璃)用机能膜
  • ・CD-R、DVD、BD用反射膜、穿透膜
  • ・有机EL用反射膜、触控面板用电极膜
  • ・PDP用透過膜、LCD用反射膜
  • ・电子元件的阀电极膜
  • ・电子元件、氧化物电介体元件的电极膜
  • ・各种感应器用电极膜

反射膜、电极用银合金靶材

特色

DVD及BD是由印刷层、保护层、反射.储存层、树脂层的叠层构造所构成。反射与储存层中使用了 蒸镀材料,而针对害怕日光直接照射或高温、多湿的产品性质,则采用了贵金属(反射膜)。经蒸镀的反射膜攸关产品寿命,精度不良会导致 印刷、反射层从边缘剥落,另外,水分渗透反射膜会导致生锈,进而使产品出现丧失反射功能等状况,缩短产品寿命。因此,本公司提供具有 优良耐环境性的贵金属(纯银、银合金等)靶材来作为反射.穿透膜用产品。

纯银与本公司研发的银合金之比较

溅镀後之反射率

加湿试验後之反射率(85℃ 95%rh)

  Ag Ag alloy
asdepo
250℃ 3hr