MOCVD / ALD 前驱物 | 田中贵金属

MOCVD / ALD 前驱物
MOCVD:Metal Organic Chemical Vapor Deposition
ALD:Atomic Layer Deposition

开发、制造半导体用高纯度前驱物,
并提供利於地球环保的再利用技术。

开发、提供前驱物

在田中贵金属工业中,正开发各种CVD/ALD前驱物。甚至制作半导体用薄膜的CVD装置、评估薄膜用的各种分析仪器(FE-SEM、AFM、GD-MS等)产品俱全,依目的提供所需前驱物。

前驱物产品范例(钌)

以钌为中心,正进行所有贵金属前驱物的开发。

Product Name Structure
Carish
Pale yellow liquid
Carish Pale yellow liquidのイメージ
RuCp2
Yellow white crystalline
Ru(EtCp)2
Pale yellow liquid
Ru(acac)3
Red crystalline
Product Name Structure
Ru3(CO)12
Orange crystal
Ru3(CO)12 Orange crystalのイメージ
RuCpBuCp
Pale yellow liquid
RuCpPrCp
Pale yellow liquid
Runish
Bitter orange color
liquid

前驱物再利用技术

田中贵金属工业所开发的再利用技术能将这些未反应的使用过之原料再进行精制,以与新品相同的品质再次提供。因此,不需要重新调度合成原料时所需的贵金属、配位体,可大幅降低成本,同时,在不受贵金属价格变动影响的情况下,达到维持稳定价格。

前驱物再利用系统 ※取得专利

透过独家技术,以低成本将前驱物再利用。

CVD/ALD材料的再利用制程 ※本公司专利制程