CVD / ALD 用贵金属前驱物

CVD = Chemical Vapor Deposition
ALD = Atomic Layer Deposition

CVD / ALD 用贵金属前驱物
CVD : Chemical Vapor Deposition
ALD : Atomic Layer Deposition

开发并制造半导体用高纯度前驱物,还提供利于地球环保的再利用技术。

开发・提供前驱物

在田中贵金属工业中,正开发各种CVD / ALD 前驱物。甚至制作半导体用薄膜的CVD装置,评估薄膜用的各种分析仪器(FE-SEM,AFM,GD-MS 等)产品俱全,依目的提供所需前驱物。

前驱物产品范例(钌)

目前开发以钌为中心的贵金属前驱物。

Product Name Structure
Carish
Ru liquid precursor
Rudic
Ru liquid precursor
DCR
Ru solid precursor